В Массачусетском технологическом институте видят возможность исправить эту ситуацию: инженеры МТИ изготовили MEMS-газоанализатор без использования дорогостоящих процессов. Датчик создан путем электрораспыления на кремниевую подложку жидкости с хлопьями оксида графена через массив капельниц. Жидкость затем испарилась, оставив покрытие толщиной в несколько нанометров. При взаимодействии хлопьев оксида с газом они меняют сопротивление, разницу можно измерить, — на этом и основано действие датчика.
По словам исследователей, при изготовлении традиционным способом потребовались бы температуры около 1000°С для выращивания оксида и, возможно, глубокий вакуум. Так как ничего из этого не понадобилось, себестоимость изготовления датчика оказалась стократно меньшей. Исследователи удостоверились в том, что их газоанализатор работает не хуже коммерческих аналогов. Сами капельницы для электрораспыления можно изготавливать с помощью 3D-принтера, благодаря чему открывается возможность несложного создания аппаратов выпуска MEMS-устройств для различных применений. В частности, методом электрораспыления можно было бы изготавливать биодатчики новых типов, полагают авторы.