Сроки реализации проекта обозначены периодом 2008–2010 годы. Ответственным исполнителем назначено Министерство промышленности и торговли РФ.
Общая стоимость инвестиционного проекта составляет 58,427 млрд руб. Строительством завода в Зеленограде и оставшиеся 31,504 млрд руб. вложит «Ситроникс-Нанотехнологии», контрольный пакет акций которой принадлежит АФК «Система». Государство владеет пропорциональной объему инвестиций долей имущественных прав на результаты реализации высокотехнологического проекта — 46%.
К моменту ввода производства в полную готовность планируется достичь выпуска 10 тыс. пластин в месяц. Окупаемость инвестиций ожидается через 10 лет с начала реализации проекта.