60 сформировавшихся предприятий по выпуску MEMS- устройств, несколько сотен начинающих (многие из которых имеют собственные тестовые лаборатории и производственные мощности), а также множество научных учреждений, ведущих исследования в данной области. Как отмечают аналитики, часть стандартного оборудования производства микросхем в отдельных случаях можно без модификации применять и для выпуска MEMS-систем. Однако, например, оборудование контроля качества для MEMS требуется иное. По мнению аналитиков, следует ожидать, что поставщики начнут активно скупать бывшее в употреблении оборудование для перепродажи производителям MEMS-устройств. Некоторые из крупнейших поставщиков уже обзавелись подразделениями, занимающимися только оборудованием для производства MEMS. Существует также несколько начинающих поставщиков, достаточно успешно действующих исключительно на рынке MEMS.